科麦特申请深紫外光刻用掩模防尘系统及其制造方法专利降低薄膜的紫外光的吸收率
发布时间:2026-01-26 02:16:47

  金融界2025年7月25日消息,国家知识产权局信息显示,江苏科麦特科技发展有限公司申请一项名为“一种深紫外光刻用掩模防尘系统及其制造方法”的专利,公开号CN120370636A,申请日期为2025年06月。

  专利摘要显示,本发明涉及一种深紫外光刻用掩模防尘系统及其制备方法,防尘系统包括框架;包括薄膜,所述薄膜贴合在框架的一侧;包括缓冲橡胶,所述缓冲橡胶贴合在框架的另一侧;所述薄膜包括以重量份数计数组分:含氟二胺10~15份,含氟二酸酐10~15份,纳米二氧化硅0.05~0.2份,含氟成膜助剂0.05~0.1份,溶剂10~30份,酰亚胺化催化剂0.05~0.2份,其制造方法包括步骤S1、制备框架;步骤S2、配制树脂溶液;步骤S3、薄膜贴合;步骤S4、粘接缓冲橡胶,本发明优点在降低薄膜的紫外光的吸收率,增加紫外光透过率,并且没用使用含氟的溶剂,也避免有害气体产生。

  天眼查资料显示,江苏科麦特科技发展有限公司,成立于2005年,位于无锡市,是一家以从事金属制品业为主的企业。企业注册资本1195.1077万人民币。通过天眼查大数据分析,江苏科麦特科技发展有限公司共对外投资了3家企业,参与招投标项目13次,财产线条,此外企业还拥有行政许可30个。

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